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7-26
質量流量控制器在測量時須注意以下三點質量流量控制器是一種新型流量計量、監控儀表,也是一種無須溫度、壓力補償就能方便而且監測在管道中流動的不同氣體??梢杂糜诳刂撇煌ǜg性氣體和復雜氣體的清潔干燥氣體,但對于使用腐蝕性氣體和復雜氣體,需要恰當選擇型號和密封材料。質量流量控制器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量,不需溫度壓力補償。主要由分流器通道、放大控制器、流量傳感器和流量調節閥門等部分組成,其中分流器決定主通道的流量。質量流量控制器注意以下三點:1、怕液體和油污...
7-20
氣體質量流量計是怎樣測量流量的氣體質量流量計傳感器插入在相對大的流場中,在無氣體流動時,傳感器的熱源對環境無影響,不會因此引起氣體對流而導致零點變化。所以,氣體流量計具有很短的響應時間和優良的零點穩定性。氣體流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣等清潔氣體的流量,主要應用于半導體、電子、化工、醫藥、食品等產品制造過程中氣體流量的檢測及控制,醫院氧氣消耗量計量、實驗室氣體流量的檢測等,氣體流量計口徑較小至1mm,螺紋連接氣體流量計的儀表特點:測量管內無阻流件,壓力損失為...
7-12
MFC-T系列質量流量控制器(MassFlowController)是基于業內先進的流量傳感器芯片技術,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。在輸出方面,帶有工業級液晶觸控顯示屏,具備流量設置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。質量流量控制器產品用于有害氣體或爆炸性氣體時,須嚴格按照產品使用說明或咨詢公司技術人員。有關產品...
7-4
MEMS芯片研制MEMS技術自晶體管時代的到來,在幾十年的時間里迅速的發展壯大,將在微電子技術基礎上發展起來的集微型機械、微傳感器、微執行器、信號處理、智能控制于一體。從最初的壓力傳感器到現在的汽車防撞氣囊等先進的微型設備,已經普遍應用到各個領域,與傳統的一些機械設備相比,MEMS具有不可超越的優勢,諸如廣義化特點、微型化特點、多樣化特點、穩定性特點、集成化特點、批量化特點。利用MEMS技術制造的微型儀器在環境檢測、分析和處理方面大有作為,它們主要是由化學傳感器、生物傳感器和...
7-4
隨著全球及中國對半導體行業的不斷重視和投入,半導體行業對氣體流量控制器提出了更高的要求。納米、薄膜技術等新材料研制技術的成功應用為氣體流量控制器集成化和智能化提供了很好的前提條件。MEMS氣體流量傳感器將在充分利用微機械與微電子技術、計算機技術、信號處理技術、傳感技術、故障診斷技術、智能技術等多學科綜合技術的基礎上得到發展。研制能夠同時監測多種氣體的全自動數字式的智能氣體質量流量控制器將是該領域的重要研究方向。氣體質量流量控制器(以下簡稱“MFC”)采...
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質量流量計直接測量通過流量計的介質的質量流量,還可測量介質的密度及間接測量介質的溫度。由于變送器是以單片機為核心的智能儀表,因此可根據上述三個基本量而導出十幾種參數供用戶使用。質量流量計組態靈活,功能強大,性能價格比高,是新一代流量儀表。質量流量計零點不穩定誤差主要來自流量傳感器部分,原因有兩個:機械振動的非對稱性和衰減、流體的密度黏度變化。影響前者的因素有:①管端固定應力;②振動管剛度的變化;③雙管諧振頻率不一致性;④管壁材料的內衰減。影響后者的因素主要是結構不平衡,因此即...
6-18
采取相應的措施來使質量流量計的測量精度更高經過不斷地實踐和摸索,在質量流量計的運行、監測、維護及故障處理方面形成了一套比較完善的方法,并取得了較好的效果,話不多說下面讓我們一起來了解一下吧。1、設備檔案的建立質量流量計的建檔工作是不可少的,這樣做可以便于質量流量計的日常維護和管理。其中設備檔案應盡可能包括質量流量計的安裝地點、測量介質的名稱、介質的工況參數、管道的口徑、質量流量計的內部設定參數、正常流量、大流量等內容,以及每次檢定的合格證書及日常檢測、維修記錄。2、實現質量流...
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