青島芯笙MFC-S500系列氣體質量流量控制器,采用公司自主研發的工業級先進流量傳感器芯片,具有*的氣體流道設計,可實現靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學信號方面,提供多種數字和模擬控制方式,并配備工業級顯示屏,方便客戶現場調試和配置。
緊湊型-氣體質量流量控制器--青島芯笙 是基于業內的流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。
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